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薄膜测厚仪已成为现代科技发展中的一个重要组成部分

更新时间:2023-06-24      点击次数:284
  一、薄膜测厚仪的基本原理
  薄膜测厚仪主要是利用光学干涉法,即将被测物体与参考面之间形成等距空气隙,当入射光在空气和物体表面之间反弹时产生两束反射光,在相遇处会发生叠加干涉现象。通过检测干涉条纹的数量来确定光路差,从而计算出被测物体的厚度。
  二、常见的薄膜测厚仪类型及其特点
  1. 手持式激光扫描式薄膜测厚仪:具有快速测试速度、高精度以及方便携带等优点。适用于对小型或不规则样品进行测试。
  2. 台式多功能自动化控制集成系统:可以实现全程自动化处理,包括对数据采集存储和处理分析。适用于大量同类型产品连续快速检验。
  3. 探针式微区域电子束材料分析技术(TEM):可同时完成高清晰图像像素级别精准定位,并且能够提供高解析度的元素映射谱(EDS)信息。
  三、应用领域
  1. 半导体工业:可用于测量硅片等半导体材料的厚度及表面粗糙度,以及电子束辐射器在微缩加工过程中对薄膜层的影响。
  2. 材料科学:可以测试各种功能性纳米材料和涂层的厚度和界面特征,并通过分析结果来进一步优化生产流程。
  3. 医学领域:能够反映出人类牙齿釉质和龋洞位置之间存在的差异。同时,也能够检测医用设备上光栅板或者其它透明介质内部是否有划痕污染等问题。
  总之,薄膜测厚仪已成为现代科技发展中的一个重要组成部分。随着相关技术持续提升,它将广泛地被应用于物理、化学、医学以及制造业等多个领域。
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