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NanoSystem NVM-6000P表面形貌测量系统
更新时间:2020-10-31
产品型号:
描述:NanoSystem NVM-6000P表面形貌测量系统测为LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等领域提供纳米级别精度的测l。NVM-6000P是型设备,用于基板表面形貌的测量。 基板上的Via Hole,Pad形状,Pattern形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。

NanoSystem NVM-6000P表面形貌测量系统的详细资料:

NanoSystem NVM-6000P表面形貌测量系统

 

产品描述

NanoSystem NVM-6000P表面形貌测量系统是型设备,用于基板表面形貌的测量。

基板上的Via Hole,Pad形状,pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。

在高速测量下仍具有优良的重复性和准确性,支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。

 

产品规格

扫描范围:0-180um(270um可选)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm 

台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)

横向分辨率:0.2-4um(取决于物镜和FOV)

工作台面:510X405mm(程控)

尺寸:1200(w)X1250(D)X1900(H)

 

应用领域

Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。包括:PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

 

 

ISO 25178 · 4287 规格标准化数据

按照ISO标准机构规定的规格,以图表、表格、2D•3D图像的形式大面积显示粗糙度、高度及幅度等各类数据。

 

图形的粗糙度评价Roughness evaluation of images

Nano System利用从ISOASMEEUR等多家标准机构获得的30多个粗糙度参数来评估Sample的粗糙度。

 

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