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奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜
更新时间:2019-10-26
产品型号:
描述:奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜系列采用了当前先进光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此,观察到的图像具有高分辨率和高对比度,此外,像差也被完全消除,以确保实现对微小细节的高精度测量。

奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜的详细资料:

奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜

通过整合光学显微镜的测量能力实现精确测量

多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能
奥林巴斯STM7工具测量显微镜系列采用了当前先进光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此,观察到的图像具有高分辨率和高对比度,此外,像差也被完全消除,以确保实现对微小细节的高精度测量。

作为高度测量的先锋,继续提供简单易操作的高精度3轴测量

共聚焦自动对焦系统光路

随着现代制造技术日益小型化和精密化,高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量,而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司,以此响应了这种与日俱增的需求。

严格的可追溯系统确保品质可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的***度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。


测量显微镜跟踪系统
STM7测量显微镜设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小
 

[常见问题] 
短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
目前为止,大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程,但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程,这样的做法费事费时,效率不高。
由于可测量的范围窄,无法将数量较多的样品排列在载物台上,以实现一次性同时测量。

 

[STM7解决方案]
共有四种独特的正方形测量行程的载物台可供选用,分别为:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品,总有一款载物台会适合您要测量的样品。
Ÿ 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后,载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动,并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程,这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量,比如300 mm的晶圆和印刷电路板。更多详细内容请咨询上海富莱光学、奥巴仪器。

使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察
[常见问题]
大部分传统的测量显微镜只可以测量物镜或金相物镜,无法同时满足多种观察要求。
[STM7解决方案]
奥林巴斯STM7工具测量显微镜可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜,而更换为物镜转盘后,便可使用金相物镜。这意味着, STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式,无论是测量大型样品还是精细样品,或是表面高度差异大的样品,STM7系列都可以对应并协助用户选择*的观察方法。
 

测量物镜
由于测量物镜具有非常长的工作距离,因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候,无需担心物镜与样品之间发生接触。此外,借助测量物镜的低倍率能力,可以一次观察到较大的视场。

金相物镜
可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是,在明场观察之外还可以对应暗场,偏光和微分干涉观察。

奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜规格

 

小型手动镜架
STM7-SF

小型电动镜架
STM7-SFA

中型手动镜架
STM7-MF

中型电动镜架
STM7-MAF

大型手动镜架
STM7-LF

大型镜架
STM7-LFA

显微镜
镜架


聚焦

垂直移动范围

175 mm

145 mm

zui大的测量高度

120 mm(配备测量物镜)
175 mm(配备金相物镜)

90 mm(配备测量物镜)
145 mm*1(配备金相物镜)

Z轴测量分辨率

0.1 μm

Z轴驱动方法

手动同轴
微调/粗调
焦旋钮

电马达驱动:
●聚焦按钮:
移动速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗调焦旋钮:
微调焦速度(旋转
一周移动量)
有4档可供选择
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

手动同轴
微调/粗调
焦旋钮

电马达驱动:
●聚焦按钮:
移动速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗调焦旋钮:
微调焦速度(旋转
一周移动量)
有4档可供选择
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

手动同轴
微调/粗调
焦旋钮

电马达驱动:
●聚焦按钮:
移动速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗调焦旋钮:
微调焦速度(旋转
一周移动量)
有4档可供选择
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

照明

LED照明

白色:用于反射光照明,绿色:用于透射光照明

镜筒

正像单目镜筒,正像三目镜筒(100:0/0:100)

物镜

测量显微镜用

MM6-OB系列

金相显微镜用

MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列

目镜

MM6-OCC10X (带十字线, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)

载物台

测量范围

STM7-CS50:
X
轴 50 mm, Y轴 50 mm
STM7-CS100:
X轴 100 mm, Y轴 100 mm

STM7-CS200:
X
轴 200 mm, Y轴 200 mm

STM7-CS300:
X
轴 300 mm, Y轴 300 mm

测量***度
(L:测量长度)

STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm

(3+4L/200) μm

(3+6L/200) μm

***度保证重量

STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg

10 kg

15 kg

计数器显示

轴数

3

单位

毫米/微米/英寸/密耳

zui小分辨率

0.1 μm

外形尺寸(宽×长×高)(mm)

466 x 583
x651

466 x 583 x 811

606 x 762 x 651

606 x 762 x 811

804 x 1024 x 686

804 x 1024 x 844

重量

约84 kg

约92 kg

约152 kg

约159 kg

约277 kg

约284 kg

额定功率

100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时,可以将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。

物镜工作距离

倍率

1x

3x

5x

10x

20x

50x

100x

物镜

测量物镜

MM6-OB系列

59.6

76.8

65.4

50.5

-

-

-

金相物镜

MPLFLN系列

明场

-

-

20.0

11.0

3.1

1.0

1.0

LMPLFLN系列

长工作距离

-

-

22.5

21.0

12.0

10.6

3.4

MPLFLN-BD系列

明场/暗场

-

-

12.0

6.5

3.0

1.0

1.0

LMPLFLN-BD系列

明场/暗场
长工作距离

       

 

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