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Suragus Eddy-Cus TF LAB2020
更新时间:2020-08-20
产品型号:
描述:Suragus Eddy-Cus TF LAB2020使用涡电流检测技术,适用于建筑镀层玻璃,触控屏显示器、OLEDLED、防静电透明箔,光伏、半导体制程之晶圆等金属层厚度、电阻值(Sheet resistance)、导电率量测,不同频率的sensor搭配,提供更宽广的金属厚度量测范围。产品种类包括便携式手持设备,手动及半自动桌上型设备,以及结合自动化作在线实时检测之方案。

Suragus Eddy-Cus TF LAB2020的详细资料:

Suragus Eddy-Cus TF LAB2020​

德国Suragus专门为非破坏性材料测试提供解决方案。Suragus Eddy-Cus TF LAB2020使用涡电流检测技术,适用于半导体制程之晶圆金属层厚度、电阻值(Sheet resistance)、导电率量测,不同频率的sensor搭配,提供更宽广的金属厚度量测范围。产品种类包括便携式手持设备,手动及半自动桌上型设备,以及结合自动化作在线实时检测之方案。

Suragus Eddy-Cus TF LAB2020金属层量测应用

沉积(CVD,PVD,电镀...)
晶圆蚀刻、抛光、(去)氧化

 

 

设备特性:

  • 非接触实时量测,不损伤产品表面。
  • 量测结果可输出高分辨率之图档以分析金属层均匀度。
  • 可以执行产品金属层的电阻值单点测量或mapping。
  • 不受接触面电阻影响,提供高精度的测量。
  • 测量方式稳定,高重复性测量。
  • 可做极薄金属层之测量2nm~2mm。
  • 软件提供简易之操作接口及数据分析功能。
  • 可结合在线量测(In-line)。

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