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OAI 659光刻紫外线照度计

简要描述:OAI 659光刻紫外线照度计适用于半导体、面板制程的曝光机紫外线能量分析和测量。
过去45年来,OAI是一个UV 光及能量量测仪器的世界领导制造商,提供紫外线的检验,光学技术,光电,微机电等测试设备。OAI在全球使用中的精密仪器有数千台之多,从紫外线强度、动力仪表到辐射计和太阳能光强度仪表,提供长期性能最高具可靠性和价值的广泛仪表和仪器设备与校正服务。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-07-31
  • 访  问  量:120

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详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口应用领域电子,印刷包装

OAI 659光刻紫外线照度计专门设计用于所有步进式光刻机,包括高强度步进式光刻机。该仪表平均可达到400个曝光读数,具有以太网和USB接口,用于下载记录测量的数据,并且强度范围可高达7500MW/cm2。探头的波长为365nm、400nm、420nm和436nm。


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OAI 659光刻紫外线照度计



(一)仪表规格

用户界面:触摸屏

计算机接口:可选以太网和USB下载记录测量的数据

电源:电池采用可充电的3.7V锂离子电池并有充电保护

充电器电源:100-240 VAC

显示设置:2个屏幕

1设置屏幕-以太网地址、日期和时间

2运行屏幕波长、强度、时间、剂量、探头温度,探头类型,偏差百分比,串行编号、校准到期日、电池状态、探针序列号和充电器状态。

内存存储:多400个读数

强度范围:高达7500MW/cm2

强度分辨率:0.01mW/cm2

剂量范围:高达1000 J/cm3

剂量分辨率:0.01mJ/cm3

时间范围:长9999

时间分辨率:0.0001

小剂量暴露25m

尺寸:14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸

重量:3.5

工作环境温度:15–40

符合性:ROHS2CEEMC和安全)

 

(二)探头规格

选项:非补偿温度探头

探头检测器:硅光电二极管

可用波长(nm365400420436

过滤器:多层吸收/介质

强度范围:7500MW/cm2

合规性:ROHS2CEEMC和安全)

 


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