非接触式3D表面测量系统

NanoSystem NSM-5060P非接触式3D表面测量系统

产品描述

NanoSystem NSM-5060P非接触式3D表面测量系统用于PCB基板表面形貌的测量。

基板上的Via Hole，Pad形状，pattern形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。

在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性，支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。

产品规格

测量方式：非接触式白光干涉

垂直扫描速度：6.0μm/Sec

垂直扫描范围：270μm

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm  PSI: <0.1nm

台阶高度重复性:﹤0.1% @ (1σ)

照明光源：LED illunination

换镜转盘：电动

相机：640x480

FOV镜头：x0.55，x0.75，x1.0, x1.5, and x2.0

干涉物镜：x2.5，x5，x10，x20，x50

物镜：x5，x10

横向分辨率：0.45-2.6um（取决于物镜和FOV）

XY stage：XY Stroke：630x630mm

Z Stage: 50mm

工作台面：610X610mm (程控) 

尺寸：1300(w)X1400(D)X2100(H)

重量：2200Kg

应用领域

Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面）等等领域提供纳米级别精度的量测。包括：PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

ISO 25178 · 4287 国际规格标准化数据

按照ISO国际标准机构规定的规格，以图表、表格、2D•3D图像的形式大面积显示粗糙度、高度及幅度等各类数据。

图形的粗糙度评价Roughness evaluation of images

Nano System利用从ISO、ASME、EUR等多家国际标准机构获得的30多个粗糙度参数来评估Sample的粗糙度。