Radiant薄膜横向压电系数e31测试装置

Radiant薄膜横向压电系数e31测试装置采用悬臂梁法，结合Radiant Precision系统可精确地确定压电薄膜系数e31、d31和e33，重新加载一致性达到2%。

Radiant的悬臂梁法测薄膜横向压电系数e31测试装置可测量悬臂上沉积的压电薄膜的系数。通过向压电薄膜施加电压使基材向不同方向弯曲。由配置的光电传感器捕获悬臂顶端的运动，该测试模组可容纳72mm和43mm悬臂。

Radiant薄膜横向压电系数e31测试装置和Radiant Precision测试系统可以进行三种类型的测量。

1)确定悬臂梁的针尖位移作关于电压的函数

2)可以执行的第二种类型的测试是直接d31测量，这是通过悬臂梁施加力记录压电电容器的电荷量实现。

3)如果使用叉指电极，则测量e33

准确性

可复制到1%，卸载和重新加载准确度达2%。

可重复性

重新加载相同样本时没有差异。

操作简单

无须复杂调试，操作简单

多功能

薄膜或散装、生产或研究。

灵活

薄膜压电测试束将适应

各种样本几何图形。

薄膜压电测试模组的测量包括但不限于下列测试：

e31、d31、e33与厚度

位移与电压

压电疲劳

压电老化

成分比较

过程监控

多重绘制和平均

薄膜压电测试套件包括：

l  薄膜压电测试夹具

特殊设计的薄膜测试夹具

l  压电位移传感器

Radiant的压电光子技术规格：

测量范围6mm，精度1微米。

压电位移传感器模拟输出校准为5微米/V（或=0.2V/微米）。

当压电位移传感器模拟输出连接到Radiant Precision测量系统的传感器端口后，输出电压由ADC测量，其分辨率为0.3mV/步。

l  *的压电软件

*的压电软件对压电薄膜或压电MEMS自动执行测试并提供清晰的位移结果；

测量软件可以配置为不同的测量值，只需按一下按钮即可生成多个绘图。

可以对测试台进行多次测量以修正漂移值，然后平均/平滑测量值，以纠正过高和过低频噪声。