产品分类
Product Category相关文章
Related Articles详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 100万-200万 |
---|---|---|---|
产品种类 | 非接触式轮廓仪/粗糙度仪 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 电子,航天,汽车 |
Nanosystem NV-2700 非接触式3D轮廓仪通过的技术力对多样研究所有的表面提供优化解决方案。所有的功能实现全自动快速运转。
NV-2700可以快测量所有表面的测量仪,利用持有的白光干涉仪WSI和相应算法开发的产品。X,Y,Z轴全部设计为全自动,通过可调节F.O.V镜头,自动构成多样的倍率。此产品专为研究所,大学和工艺管理而制作的产品。此设备可以通过拼接(Stitching)功能可以进行大面积(500㎟)测量。
得到的WSI/PSI技术,只需要表面有1%的反射率即可测量,表面现象中的高度,宽度,幅度,粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各种项目均可测量。
此外,WSI的高度分辨率为0.1nm,2秒钟时间即可扫描所有的表面,在不破坏样品的情况下,可测定0.1nm到1000um的样品,均可观察2D/3D的现象。不仅如此,更是保障了0.1%(1σ)世界水准的重复性,本公司保有的技术可应用于 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方面。
Nanosystem NV-2700 非接触式3D轮廓仪优点
· 优良的测量精度
· 抗振动设计
· 快速测量速度
· 友好的测量界面
· Stitching功能
· 2D和3D多功能性能
主要功能
· 3D 形貌测量
· 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (选项)
· 高度,深度,宽度(从亚纳米到10mm)·
· 面积信息(体积,面积)
· 2D和3D 测量
产品规格:
测量方法:白光扫描干涉法/相移干涉法
FOV镜头:4位电动转塔,可加装F.O.V(选项)
干涉物镜:5物镜可选(程控)
光源:白光LED照明
扫描范围:≤270um(PZT)
扫描速度:12μm/sec (1x~5x用户可选)
垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm
横向分辨率:0.2-4μm(取决于物镜和FOV)
台阶高度重复性:0.1%@1σ (标准8um台阶样品)
倾斜度:±6°
XY行程:100mmX100mm
工作台尺寸: 230X230mm(程控)
选项
FOV镜头: 0.5X,0.75X,1X,1.5X,2X(可选)
干涉物镜:2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可选)
扫描范围:多达可达10mm(电机扫描选项)
产品咨询
微信扫一扫