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Nanosystem NV-2700 非接触式3D轮廓仪
更新时间:2020-11-10
产品型号:
描述:Nanosystem NV-2700 非接触式3D轮廓仪,通过非接触式的方法对0.1nm-270nm的3维表面形貌进行高进度和高速测量。利用物镜转台可方便的进行放大倍数的转换。使用拼接功能可分析宽广的表面。

Nanosystem NV-2700 非接触式3D轮廓仪的详细资料:

Nanosystem NV-2700 非接触式3D轮廓仪通过的技术力对多样研究所有的表面提供优化解决方案。所有的功能实现全自动快速运转。

NV-2700可以快测量所有表面的测量仪,利用持有的白光干涉仪WSI和相应算法开发的产品。X,Y,Z轴全部设计为全自动,通过可调节F.O.V镜头,自动构成多样的倍率。此产品专为研究所,大学和工艺管理而制作的产品。此设备可以通过拼接(Stitching)功能可以进行大面积(500)测量。

得到的WSI/PSI技术,只需要表面有1%的反射率即可测量,表面现象中的高度,宽度,幅度,粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各种项目均可测量。


此外,WSI的高度分辨率为0.1nm,2秒钟时间即可扫描所有的表面,在不破坏样品的情况下,可测定0.1nm到1000um的样品,均可观察2D/3D的现象。不仅如此,更是保障了0.1%(1σ)世界水准的重复性,本公司保有的技术可应用于 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方面。

 

Nanosystem NV-2700 非接触式3D轮廓仪优点

·       优良的测量精度

·       抗振动设计

·       快速测量速度

·       友好的测量界面

·       Stitching功能

·       2D3D多功能性能

 

主要功能

·       3D 形貌测量

·       粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (选项)

·       高度,深度,宽度(从亚纳米到10mm)·

·       面积信息(体积,面积)

·       2D3D 测量

 

产品规格:

测量方法:白光扫描干涉法/相移干涉法

FOV镜头:4位电动转塔,可加装F.O.V(选项)

干涉物镜:5物镜可选(程控)

光源:白光LED照明

扫描范围:≤270um(PZT)

扫描速度:12μm/sec (1x~5x用户可选)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

横向分辨率:0.2-4μm(取决于物镜和FOV)

台阶高度重复性:0.1%@1σ (标准8um台阶样品)

倾斜度:±6°

XY行程:100mmX100mm

工作台尺寸: 230X230mm(程控)

选项

FOV镜头: 0.5X,0.75X,1X,1.5X,2X(可选)

干涉物镜:2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可选)

扫描范围:多达可达10mm(电机扫描选项)

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