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Nanosystem NV-1000白光干涉仪
更新时间:2021-04-17
产品型号:
描述:Nanosystem NV-1000白光干涉仪是利用白光干涉特性来进行表面形貌的测量,它结合了典型的WSI非常高的垂直分辨率和一个非常大的面积高达21.7毫米x16.3毫米。这使得高精度和大面积快速测量成为可能,而无需缝合。

Nanosystem NV-1000白光干涉仪的详细资料:

 

Nanosystem NV-1000白光干涉仪

 

WSI白光干涉/PSI相位干涉测量检测设备,利用白光干涉现象以及干涉信号处理方式,高精度真实还原测量物体的轮廓原貌,解决了测量高精度物体时,只能破坏测量物做切片的难题。

 

设备测量应用涵盖晶圆,液晶,等离子显示板,半导体,透镜曲率测量,印刷电路板等方面。纵向测量精度高达0.5nm/0.1nmWSI/PSI)以下,平面测量精度高达到7.4nm以下。其高精度,广领域度,客户体验度,受到了高精制造行业的喜爱。

 

设备原理

WSI白光干涉和PSI相位干涉原理虽然测量原理不同,但是除了使用单频光和多频光这一点不同外,使用同样的光学和测量系统,因此可以在同一设备上进行使用。

两种测量方法共同的特征是利用干涉信号进行处理。干涉信号是从任意光源同时出发的两束光通过不同的光路后叠加时,根据两束光的光路距离差产生明暗相间的物理现象。WSI/PSI设备正是使用了以上原理进行测量。

 

WSI测量原理

WSIWhite-LightScannng Interferometry)的特征

-在扫描范围内持续扫描后进行测量。

-在允许扫描的范围内可以测量高度。

 

PSI测量原理

 

PSIPhase ShiftingInterferometry)测量原理

PSI的特征

-中心波长(大约600nm)的1/4为间隔,进行4回扫描后测量。

-与扫描范围无关,只能测量250nm以下的高度。

 

 

Nanosystem NV-1000白光干涉仪技术参数:

干涉物镜:单透镜可选

扫描范围:0-180um270um可选)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm PSI :﹤0.1nm

倾斜台:±3°

Z轴行程:30mm(手动)

工作台面:50X50mm(手动)

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