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EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪

简要描述:EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-06-08
  • 访  问  量:118

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
类型其他应用领域能源,电子,电气

EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。

EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪

EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪产品介绍:

EddyCus® map 2530系列在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。

EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪




产品特点:

· 非接触式

· 快速、高重复度测量

· 高分辨率成像

· 最大 300 x 300 mm(12")的样品成像测量

· 封装的导电层的表征

· 软件集成分析功能,例如电阻均一性分布、线扫描、单点分析

· 测量数据保存和导出功能

· 缺陷识别、分析


产品优势:

·  非接触式成像

·  高速 (5 分钟测量10,000个检测点)

·  重复性和精确性

·  高分辨率 (9 90,000个检测点)

·  封装后的膜层成像

·  均匀性和缺陷成像


产品参数

测量技术

非接触式涡流传感器

基材

晶圆(锭)、玻璃、箔等

最大限度。扫描区域

12 英寸/300 毫米 x 300 毫米(根据要求更大)

边缘效应校正/排除

2 10 毫米(取决于尺寸、范围、设置和要求)

最大限度。样品厚度/传感器间隙

3 / 5 / 10 / 15 毫米(由最厚的样品定义)

金属薄膜(如铝、铜)的厚度测量

2 nm 2 mm (根据薄层电阻)

扫描间距

1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(其他应要求提供)

每次测量点数(方形样品)

0.5 分钟 100

个测量点 3 分钟 10,000 个测量点

扫描时间

8 英寸/200 毫米 x 200 毫米,1 10 分钟(1 – 10 毫米间距)

12 英寸/300 毫米 x 300 毫米,2 6 分钟(2.5 – 25 毫米间距)

设备尺寸 (w/h/d)

31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米

重量

90公斤

更多可用功能

金属厚度成像、各向异性和薄层电阻传感器


VLSR

LSR

MSR

HSR

VHSR

范围 [欧姆/平方]

0.00010.1

0.110

0.1100

102000

1,000200,000

精度/偏差



± 1%

± 13%

± 3 5%

重复性 (2σ)



< 0.5%

< 1%

< 0.5%

软件和设备操控:

· 人性化的软件

· 实时测绘测量

· 易于使用的统计分析选项

· 预定义的测量和产品配方(尺寸、间距、阈值)

· CSV 和 pdf 导出

· 3 用户级别

· 用于参数转换的材料数据库

· 边缘效应补偿

· 数据的存储和导入

· 数据集的导出(例如到 EddyEva、MS Excel、Origin)



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