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EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。
EddyCus map C2C全自动电阻率成像系统用于晶圆衬底或外延片的全面积表征,以确保半导体行业的工艺可靠性和质量保证。该系统配备了两个在传输模式下工作的非接触式涡流传感器。这允许非常详细地显示基底材料或导电涂层的均匀性。该系统能够测量薄膜的薄层电阻或金属膜厚度以及晶圆衬底的电阻率。
EddyCus TF lab 2020电阻率测量仪可以对导电薄膜进行手动单点测量,并以非接触模式对薄金属层进行层厚测量。这个紧凑的台式设备是快速和准确测量200 x 200 mm²(8 x 8英寸)以下样品的理想选择。除了测量导电薄层外,还可以分析掺杂的晶圆和导电聚合物。
四探针面电阻测量仪SD-800采用四探针接触式原理,用于测量导电膜层的面电阻,探针直径大,针头光滑,能伸缩,不易 划伤膜层。仪器有多个量程范围可自动选择,以Ohm/sq或Siemens/sq显示数据,校准数据和测量结果 自动存储。
非接触式面电阻测试仪Statometer G采用感应式测量原理,无探针接触导电膜层,既可测量表面导电也可测量表面不导电的导电玻璃和导电膜层,是目前Low-E镀膜生产普遍选用的优质选择。
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