欢迎来到杭州雷迈科技有限公司网站!
咨询电话:13336187598
Products产品中心
首页 > 产品中心 > 半导体行业设备和仪器 > Nikalyte > Nikalyte NEXUS物理气相沉积系统

Nikalyte NEXUS物理气相沉积系统

简要描述:Nikalyte NEXUS物理气相沉积系统是一款超多功能的PVD(物理气相沉积)系统,能够生成纳米颗粒和薄膜,非常适合工业和学术研究。NL-FLEX可以容纳各种类型的基底,包括卷对卷、非平面和粉末涂层。它适用于广泛的应用领域,包括催化、光子学、能量存储、传感器和生命科学。这种模块化的PVD沉积系统可以与分析工具集成,为您提供定制化的研究解决方案。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-01-26
  • 访  问  量:113

详细介绍

品牌其他品牌

Nikalyte NEXUS物理气相沉积系统是一种超高真空物理气相沉积(PVD)系统,能够同时生成纳米颗粒和薄膜,非常适合工业和学术研究。它适用于广泛的应用领域,包括催化、光子学、能量存储、传感器和生命科学。这种超高真空沉积系统可以与分析工具集成,为您的研究需求提供定制化的解决方案。

Nikalyte NEXUS物理气相沉积系统


关键特性:

·         通过结合纳米颗粒和薄膜生成复杂材料。

·         使用NL-UHV技术生产无烃纳米颗粒。

·         带有负载锁、烘烤和抽真空升级选项的超高真空系统。

·         涡轮分子泵/干式背抽泵组合。

·         最多可容纳5个源的共聚焦端口几何结构。

·         兼容第三方源。

·         提供旋转、加热和偏置选项的基底涂层。

·         保护人员和设备的安全联锁。

·         全自动化且由配方驱动的软件。


Nikalyte NEXUS物理气相沉积系统基本系统配置

  • 沉积腔尺寸:450 mm
  • 基础真空度:<5×10⁻⁷ Torr
  • 沉积方向:向上溅射
  • 样品台:4英寸晶圆,20转/分钟旋转,Z轴移动用于样品装卸
  • 抽真空系统:300升/秒涡轮分子泵,配备7.2立方米/小时干式前级泵
  • 阀门:手动阀门、快门和线性驱动装置
  • 控制软件:配方驱动工艺,电源控制和数据记录
  • 原位监测:石英晶体微量天平用于工艺监测和终点检测
  • 源端口:最多5个沉积源,2个共焦CF150和3个共焦CF100源端口
  • 源类型:纳米颗粒源、磁控溅射源、小型电子束蒸发源、热舟源、K型离子源、射频原子源可选配置:
  • 5×10⁻⁹ Torr基础真空度(配备烘烤选项)
  • 样品台:
    • 直流偏压用于纳米颗粒加速
    • 射频偏压用于样品表面清洁
    • 加热至800°C
  • 抽真空系统:700升/秒涡轮分子泵
  • 独立抽真空的装载锁和传输臂
  • 系统烘烤
  • 阀门、快门和线性驱动装置的自动化选项
  • 在涡轮分子泵前设置可调节挡板,以增加动态压力范围,用于在较低气体流量下进行溅射





产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
杭州雷迈科技有限公司
  • 联系人:蒋新浩
  • 地址:杭州市萧山区通惠中路1号绿都泰富广场1幢2512室
  • 邮箱:info@Labmates.cn
  • 传真:
联系我们

欢迎您加我微信了解更多信息

扫一扫
联系我们
版权所有 © 2025 杭州雷迈科技有限公司(www.labmates.com.cn) All Rights Reserved    备案号:浙ICP备19004570号-1    sitemap.xml
管理登陆    技术支持:化工仪器网