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Nikalyte NEXUS物理气相沉积系统是一种超高真空物理气相沉积(PVD)系统,能够同时生成纳米颗粒和薄膜,非常适合工业和学术研究。它适用于广泛的应用领域,包括催化、光子学、能量存储、传感器和生命科学。这种超高真空沉积系统可以与分析工具集成,为您的研究需求提供定制化的解决方案。
关键特性:
· 通过结合纳米颗粒和薄膜生成复杂材料。
· 使用NL-UHV技术生产无烃纳米颗粒。
· 带有负载锁、烘烤和抽真空升级选项的超高真空系统。
· 涡轮分子泵/干式背抽泵组合。
· 最多可容纳5个源的共聚焦端口几何结构。
· 兼容第三方源。
· 提供旋转、加热和偏置选项的基底涂层。
· 保护人员和设备的安全联锁。
· 全自动化且由配方驱动的软件。
Nikalyte NEXUS物理气相沉积系统基本系统配置
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