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Nikalyte NL-FLEX物理气相沉积系统

简要描述:Nikalyte NL-FLEX物理气相沉积系统是一款超多功能的PVD(物理气相沉积)系统,能够生成纳米颗粒和薄膜,非常适合工业和学术研究。NL-FLEX可以容纳各种类型的基底,包括卷对卷、非平面和粉末涂层。它适用于广泛的应用领域,包括催化、光子学、能量存储、传感器和生命科学。这种模块化的PVD沉积系统可以与分析工具集成,为您提供定制化的研究解决方案。

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-01-26
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详细介绍

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Nikalyte NL-FLEX物理气相沉积系统是一款超多功能的PVD(物理气相沉积)系统,能够生成纳米颗粒和薄膜,非常适合工业和学术研究。NL-FLEX可以容纳各种类型的基底,包括卷对卷、非平面和粉末涂层。它适用于广泛的应用领域,包括催化、光子学、能量存储、传感器和生命科学。这种模块化的PVD沉积系统可以与分析工具集成,为您提供定制化的研究解决方案。

Nikalyte NL-FLEX物理气相沉积系统

主要特点:

·         通过结合纳米颗粒和薄膜生成复杂材料。

·         使用NL-UHV技术生产无烃纳米颗粒。

·         空间宽敞且易于进入的真空腔,非常适合处理精细和复杂的基底。

·         可选择向上或向下配置的源。

·         兼容第三方源。

·         提供旋转、加热和偏置选项,用于三维物体的涂层。

·         自动化且由配方驱动的软件。

·        

基础系统配置:

·         沉积腔尺寸:450 mm × 450 mm × 450 mm

·         基础真空度:< 5×10⁻⁷

·         溅射方向:向下溅射

·         样品台:4英寸晶圆,20/分钟旋转

·         抽真空系统:700/秒涡轮分子泵,配备7.2立方米/小时干式前级泵

·         阀门:手动阀门、快门和线性驱动装置

·         控制软件:配方驱动的工艺控制、电源控制和数据记录

·         原位监测:石英晶体微量天平用于工艺监测和终点检测

·         源端口:最多可连接6个沉积源

·         源类型:纳米颗粒源、磁控溅射源、小型电子束蒸发源、热舟源、K型离子源、射频原子源

Nikalyte NL-FLEX物理气相沉积系统

Nikalyte NL-FLEX物理气相沉积系统可选配置:

·         可拆卸的沉积屏蔽装置

·         向上配置的源几何结构

·         样品台选项:

o    直流偏置用于纳米颗粒加速

o    射频偏置用于样品表面清洁

o    加热至800℃

·         阀门、快门和线性驱动装置的自动化选项

·         涡轮泵前的可调挡板,用于在较低气体流量下增加溅射的动态压力范围

·         单独抽真空的装卸锁和传输臂







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