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FilmTek 4500反射透射膜厚测量仪

简要描述:Filmtek 4500反射和透射膜厚测量仪利用新的多角度差分极化测量(MADP)技术与SCI patented的差分功率谱密度(DPDS)技术相结合,提供了一种在工业中具有佳的分辨率、准确度和可重复性的光学薄膜计量工具。通过提供更高的精度和准确度,FilmTek 4500使后期集成电路生产过程中的薄膜过程控制更加严格,从而提高了整个器件的产量。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2019-02-03
  • 访  问  量:226

详细介绍

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Measurement Features

FilmTek™

4000 / 4500

Index of Refraction折射率
(at 2µm thickness)

±0.00002

Thickness Measurement Range

膜厚范围

3nm-350µm

Maximum Spectral Range (nm)

大光谱范围

190-1700nm

Standard Spectral Range (nm)

标准光谱范围

380-1000nm

Reflection

反射

Yes

Transmission

透射

 Yes(4500)

Spectroscopic Ellipsometry

椭圆光谱技术

No 

Power Spectra Density

功率谱密度

Yes

Multi-angle Measurements

多角度测量(DPSD)

Yes

TE & TM Components of Index

TETM成分指数

Yes

Multi-layer thickness

多层厚度

Yes

Index of Refraction

折射率

Yes

Extinction (absorption) Coefficient

消光(吸收)系数

Yes

Energy band gap

能带隙

Yes

Composition

组成

Yes

Crystallinity

结晶度

Yes

Inhomogeneous Layers

非均匀层

Yes

Surface Roughness

表面粗糙度

Yes

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